在半導體后道封測工藝中，引線框架作為芯片的載體“骨架”和電氣連接橋梁，其質量直接影響封裝的可靠性與良率。任何微小的氧化、變形、刮花、變色、過蝕等缺陷都可能導致封裝失敗或器件早期失效，引線框架視覺檢測實現(xiàn)100%全檢成為行業(yè)必然需求。
然而，要實現(xiàn)全面、精準的機器視覺檢測應用，面臨三大核心挑戰(zhàn)：

微米級的缺陷瑕疵，在110mm的視野范圍內實現(xiàn)6μm的像素精度，這對相機的分辨率和掃描速度提出極高要求。

引線框架表面為高反射率金屬材質，且存在一定的3D結構（如引腳臺階、壩體）。傳統(tǒng)打光方式極易產(chǎn)生強烈反光，掩蓋真實缺陷，導致漏檢率升高。

現(xiàn)代半導體封測生產(chǎn)線速度極快，檢測系統(tǒng)必須在極短的節(jié)拍內完成大面積、高精度的成像與分析，否則將成為產(chǎn)能瓶頸。

針對上述行業(yè)痛點，JAI提供視覺檢測解決方案，以JAI Sweep SW-16000TL-CXP4A相機為核心，結合精準的遠心光學系統(tǒng)和創(chuàng)新的組合照明方案，化解引線框架檢測中的“頑疾”。

核心設備：JAI Sweep系列高速CMOS三線彩色線陣相機

• 高分辨率與高速掃描完美結合

提供3 x 16384的RGB像素輸出，滿足16K超高分辨率需求；

掃描速度高達100kHz（100000行/秒），確保了在實現(xiàn)最高分辨率的同時，也能跟上高速的生產(chǎn)節(jié)拍，滿足高吞吐量的要求同時可檢查微小細節(jié)。

采用5μm×5μm高靈敏大像元尺寸設計，使其感光度遠超采用小像元的同類相機。像元更大，動態(tài)范圍和圖像質量更好，信噪比也隨之更高。

此外，在同等光亮條件下，該相機可以實現(xiàn)更快的檢查速度，而且還可以通過降低照明條件的方式來降低成本。通過2x1水平合方式來增大像元尺寸（增大至10 x 5μm），從而提高了感光度。

該相機采用CoaXPress v2.0接口，支持CXP-6和CXP-12配置，每條線路可提供最高12.5Gb/s的數(shù)據(jù)吞吐量（四條同時共50Gb/s）。這種高吞吐量對于需要高分辨率和快速掃描速度的應用場景來說至關重要。

CoaXPress接口還有其他強大的特色，例如觸發(fā)功能、電線供電功能，而且還支持多臺相機連接單個PC圖像采集卡。

相機的延遲低、信號抖動低，這些確保了在高速工業(yè)檢測中的穩(wěn)定可靠表現(xiàn)。

采用0.5倍放大倍率的遠心鏡頭，保證在整個110mm大視野范圍內成像的一致性，無透視誤差和低畸變特性，為尺寸測量提供可靠保障。

采用"同軸光+條形光"的組合照明方案，同軸光提供均勻照明，有效解決高反光和3D結構成像難題，條形光通過特定角度斜射，利用陰影效應凸顯3D結構缺陷。

通過實施此套以JAI Sweep相機為核心的完整視覺方案，成功解決了半導體引線框架在高精度、高效率檢測中的技術難題，為客戶帶來了質量與效率的雙重提升。該相機亦可用于裸晶圓上微裂紋、劃痕等缺陷的檢測，圖案化晶圓上的圖案缺陷和光掩模對準情況的檢測，以及在半導體封裝內安裝的芯片電路的質量和缺陷檢測。